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中芯國際回應ASML斷供光刻機:EUV還在紙面上 一切正常

11月7日消息,針對荷蘭ASML公司延遲出貨EUV光刻機的報道,中芯國際剛剛也作出了回應,稱“極紫外光(EUV)還在紙面工作階段,未進行相關活動。公司先進工藝研發進展順利。目前,研發與生產的連結一切正常。客戶與設備導入正常運作。”

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早些時候ASML也澄清稱,關于日經新聞(NIKKEI)有關中芯國際相關報導有誤,“延遲出貨”僅為其媒體推測,ASML從未評論或確認,對其將推測直接定性為事實作為新聞標題并在文中闡述,表示抗議。

ASML表示,對全球客戶一視同仁。根據瓦圣納協議,ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經于到期前重新進行申請,目前正在等待荷蘭政府核準。

據了解,中芯國際目前量產的最先進制程為14nm,12nm已經取得重大突破。而EUV光刻機主要用在7nm及以下制程。

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